透過應用奈米壓痕技術,我們成功地產生了具有控制參數的人工刮痕和缺陷。已經證實,具有此類表面特徵的套圈可以作為低對比度工件來驗證真實現場缺陷和刮痕的尺寸測量準確性。
IEC 61300-3-35(版本 3.0)要求在調試時以及在其使用壽命期間定期對顯微鏡系統進行驗證。驗證程序應涉及使用具有特定特徵的驗證工件。為了驗證 Manta 系列顯微鏡(Manta HM、Manta W+、Manta+V2),我們提供的工件超出了標準規定的最低要求,並且具有兩個寬度為 1 μm 且深度受控的划痕
MNT-REF-2.5/PC-1UM
依照 IEC 61300-3-35 標準製作的端面有人工刮痕的驗證件(2.5 PC 插芯)。旨在驗證系統檢測寬度接近 1 µm 的刮痕的能力。採用奈米壓痕技術生產。
建議用於年度或定期驗證。
報告包含使用原子顯微鏡 (AFM) 和 Manta HM 光纖端面檢視儀進行的測量數據,並帶有 NIST 可追溯的工廠校準。
注意:Sumix 還可以根據需求製作客製化寬度的刮痕(2 µm、3 µm 等)。